オゾンガスは噴射口を天井部分に設置し、作業員がいない夜間などに噴射する。オゾンの比重は空気のおよそ1.8倍であることから作業場の空気や床、側溝に至るまで行きわたり、除菌することができる。
食品の腐敗要因となる空中浮遊微生物は、床や側溝から水蒸気によって揮散して厨房内を汚染する。これらの場所を除菌することで空中浮遊微生物を著しく減少させ同時に脱臭を行うこともできる(脱臭を行うことによる害虫対策も可能となる)。
オゾン水は水を使う厨房に適しており、現に食品工場・厨房では盛んに利用されている。調理作業前に洗浄シンクに貯めたオゾン水の中に野菜や果物等や魚介類うぃ浸漬し、洗浄・除菌・脱臭を行う。調理中もしくは調理終了後は厨房機器や床、壁面、側溝の洗浄・除菌・ヌメリ取りに用いるといった使い方が一般的だ。